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ÀÎÅױ׸®½º, ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷¿¡ ¹Ýµå½Ã ÇÊ¿äÇÑ Çõ½ÅÀû CDS ¼Ö·ç¼Ç Ãâ½Ã
ÀÎÅױ׸®½ºÀÇ Çõ½ÅÀûÀΠ½Å±Ô ESD ¼Ö·ç¼Ç

¹ÝµµÃ¼ ¾÷°è¿Í ÇÏÀÌÅ×Å© ¾÷°è¿¡ Ã·´Ü ¼ÒÀç ¹× °øÁ¤ ¼Ö·ç¼ÇÀ» °ø±ÞÇϴ ±Û·Î¹ú ¼±µµ±â¾÷ ÀÎÅױ׸®½º(Entegris, Inc.)°¡ ÃÖ÷´Ü ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶¿¡ ¹Ýµå½Ã ÇÊ¿äÇÑ CDS(chemical delivery system, È­ÇоàÇ°À» ÀûÀçÀû¼Ò¿¡ ¾Ë¸ÂÀº ¾çÀ¸·Î °ø±ÞÇϴ Àåºñ)¿¡¼­ Á¤ÀüÇϸ¦ Á¦°ÅÇÑ »õ·Î¿î À¯Ã¼ °ü¸® ½Ã½ºÅÛÀ» Ãâ½ÃÇß´Ù°í ¹ßÇ¥Çß´Ù.

¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶¿¡ ÇÊ¿äÇÑ ¿ë¾× ¹× ±âŸ °¡¿¬¼º È­Çй°ÁúÀ» Àü´ÞÇϴ ÀüÅëÀû ½ºÅ×Àθ®½º°­ À¯Ã¼ °ü¸® ½Ã½ºÅÛÀº ±Ø´ÜÀûÀ¸·Î ÀÛÀº ±Ý¼Ó ºÒ¼ø¹°¿¡ ´ëÇÑ ¿À´Ã³¯ÀÇ ¿ä±¸Á¶°Ç¿¡ ºÎÀÀÇÏÁö ¸øÇÑ´Ù. ±× °á°ú Ã·´Ü ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶¾÷üµéÀº ½ºÅ×Àθ®½º°­ ½Ã½ºÅÛ¿¡¼­ ¹þ¾î³ª ºÒ¼ÒÁßÇÕü(fluoropolymer, PFA) ½Ã½ºÅÛÀ» µµÀÔÇÏ°í ÀÖ´Ù. PFA ½Ã½ºÅÛÀº ½ºÅ×Àθ®½º°­ ½Ã½ºÅÛÀÌ ¾ß±âÇϴ ±Ý¼Ó ¿À¿°À» ÁÙ¿©Áá´Ù. ´Ù¸¸ ºñÀüµµ¼º Àü±â Àý¿¬Ã¼¶ó´Â Æ¯¼º»ó Á¤ÀüÇÏ¿Í °ü·ÃµÈ »õ·Î¿î ¹®Á¦¸¦ ÀÏÀ¸Ä×´Ù.


ÀÎÅױ׸®½º Ã·´Ü¼ÒÀçó¸®(AMH) »ç¾÷ºÎ¿¡¼­ À¯Ã¼°ü¸® ºÎ¹® ºÎ»çÀåÀ» ¸Ã°í Àִ ºê·¿ ¶óÀ̼îÀ¯(Brett Reichow)´Â “CDS¸¦ ÅëÇØ È帣´Â À¯Ã¼¿¡ ´©ÀûµÈ Á¤ÀüÇÏ°¡ ¹æÀüÇϸé À¯Ã¼ °ü¸® ºÎÇ°À» ¼Õ»ó½ÃÅ°°í Á¾±¹¿¡´Â ½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛ¿¡ °áÇÔÀÌ ¹ß»ýÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù”¸ç “¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ °úÁ¤¿¡¼­ ºÒ¾ÈÁ¤ÇÑ »óŸ¦ ÀÏÀ¸Å³ ¼öµµ ÀÖ´Ù”°í µ¡ºÙ¿´´Ù.

ÀÎÅױ׸®½º´Â ¹è°üÀ» ÅëÇØ È帣´Â À¯Ã¼³ª ¹è°ü ¹Û¿¡¼­ ÃàÀûµÉ ¼ö Àִ Á¤ÀüÇϸ¦ ÁÙÀ̴ °ÍÀ¸·Î ¼º°ø¸®¿¡ °ËÁõÀ» ¸¶Ä£ ½Å¼ÒÀ縦 ÅëÇØ ÇعýÀ» Ã£¾Ò´Ù. ¶óÀ̼î¿ì ºÎ»çÀåÀº “ÀÎÅױ׸®½ºÀÇ PFA ¹è°üÀº ³»ºÎ¸¦ Àüµµ¼º ÁÙ¹«´Ì·Î ¸¸µé¾úÀ¸¸ç, Àüµµ¼º PFA·Î ÇÇÆÃÀ» Á¦Á¶ÇØ ¾Á¸µ ºÎºÐÀÌ Àüµµ¼º ÁÙ¹«´Ì¿¡ ´êÀ¸¸é Á¢Áö °æ·Î¸¦ ¸¸µç´Ù”°í ¸»Çß´Ù.

ÀÎÅױ׸®½ºÀÇ AMH »ç¾÷ºÎ ¼ö¼®ºÎ»çÀåÀΠºô ¼¨³Ê(Bill Shaner)´Â “ÀÎÅױ׸®½º´Â 30¿©³â°£ °í¼øµµ Ã³¸® ½ÃÀå¿¡ Çõ½ÅÀûÀΠĿ³Ø¼Ç ±â¼úÀ» °ø±ÞÇÑ ¾÷ü·Î¼­ ¾ÈÁ¤¼ºÀº ³ôÀ̵ǠÀáÀçÀû °áÇÔÀº ÁÙÀ̴ ESD ¼Ö·ç¼Ç °³¹ß¿¡ À¯¸®ÇÑ À§Ä¡¸¦ Á¡ÇÏ°í ÀÖ´Ù”¸ç “ÀÎÅױ׸®½º´Â µ¶ÀÚÀû Á¦Á¶ Àåºñ¿Í °øÁ¤À» µ¿¿øÇØ ÃÊ°í¼øµµ PFA¿Í Àüµµ¼º PFA¸¦ ÇÑ °ãÀ¸·Î »çÃâ ¼ºÇüÇß´Ù”°í ¸»Çß´Ù. À̾ÀÌ·± Â÷º°È­µÈ PFA ±¸Á¶´Â ±Ý¼Ó ¿À¿°ÀÌ ³·Ãâ »Ó ¾Æ´Ï¶ó ¹Ú¸® À§Çè°ú ÀáÀçÀû ÀÎÆ®·¦¸ÕÆ®(entrapment) ±¸¿ªÀ» ÇؼÒÇØ È­Çй°ÁúÀÇ ³ôÀº ¼øµµ¸¦ ±×´ë·Î À¯ÁöÇÑ´Ù”¸ç ”ÀÎÅױ׸®½ºÀÇ »õ·Î¿î ¼Ö·ç¼ÇÀº ¾ÈÀü À§ÇèÀ» ÁÙÀÌ°í Àç»ê ÇÇÇØ À§ÇèÀ» ÃÖ¼ÒÈ­Çϸç, ¹è°üÀÌ ¹ÝÅõ¸íÇØ ½Ã½ºÅÛÀ» ÅëÇØ È帣´Â À¯Ã¼¸¦ ´«À¸·Î Á¡°ËÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù"°í µ¡ºÙ¿´´Ù.

ÀÎÅױ׸®½º°¡ ÀÚüÀûÀ¸·Î ¼öÇàÇÑ ±Ý¼Ó ÃßÃâ ½ÃÇè¿¡ µû¸£¸é »õ·Î¿î ½Ã½ºÅÛÀº Ç¥ÁØ PFA Æ©ºê¿Í µ¿ÀÏÇÑ ¼øµµ ·¹º§À» À¯ÁöÇÑ´Ù. ¶Ç Á¦3ÀÚ ±â°üÀ» ÅëÇÑ ½ÃÇè¿¡¼­ ¸¸Á·½º·¯¿î Á¢Áö ¼º´ÉÀ» È®ÀÎÇß´Ù.

¼¨³Ê ¼ö¼®ºÎ»çÀåÀº “ÀÎÅױ׸®½º°¡ Æ¯Çã Ãâ¿ø ÁßÀΠ»õ·Î¿î ESD ½Ã½ºÅÛÀº Ã·´Ü °øÁ¤ ³ëµå¿¡ ÇÊ¿äÇÑ Á» ´õ ¼øµµ°¡ ³ôÀº CDS¸¦ ÇâÇØ Áøº¸¸¦ °ÅµìÇÏ°í Àִ ¸¶ÀÌÅ©·ÎÀÏ·ºÆ®·Î´Ð½º »ê¾÷À» Áö¿øÇÏ°íÀÚ °³¹ßÇÑ ¶Ç ÇϳªÀÇ ÁÖ¿ä Çõ½Å”À̶ó°í ¸»Çß´Ù.

ÀÎÅױ׸®½º(Entegris) °³¿ä

ÀÎÅױ׸®½º´Â ¹ÝµµÃ¼ ¾÷°è³ª ÇÏÀÌÅ×Å© ¾÷°è¿¡ Ã·´Ü ¼ÒÀç ¹× °øÁ¤ ¼Ö·ç¼ÇÀ» °ø±ÞÇϴ ±Û·Î¹ú ¼±µµ±â¾÷ÀÌ´Ù. ¼¼°è Àü¿ª¿¡ 5300¿©¸íÀÇ Á÷¿øÀ» µÎ°í ÀÖÀ¸¸ç ISO 9001 ÀÎÁõÀ» È¹µæÇß´Ù. ¹Ì±¹°ú Ä³³ª´Ù, Áß±¹, ÇÁ¶û½º, µ¶ÀÏ, À̽º¶ó¿¤, ÀϺ», ¸»·¹À̽þÆ, ½Ì°¡Æ÷¸£, Çѱ¹, ´ë¸¸¿¡ Á¦Á¶, °í°´¼­ºñ½º, ¿¬±¸ ½Ã¼³À» º¸À¯ÇÏ°í ÀÖ´Ù. ÀÎÅױ׸®½º¿¡ ´ëÇÑ ÀÚ¼¼ÇÑ Á¤º¸´Â À¥»çÀÌÆ®(www.entegris.com)¿¡¼­ È®ÀÎÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.


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